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    双频爱游戏官网下载安装干涉仪

  • LH1000双频爱游戏官网下载安装干涉仪

    产品描述:

    光刻机专用双频爱游戏官网下载安装干涉仪
    可构建XY位移台等多轴测量系统
    全球独家采用直接输出线偏振光、大功率、大频差双频爱游戏官网下载安装器
    无圆偏振光转线偏振光非线性误差
    大功率可同时测量更多数量的轴向位移
    大频差,测量速度更快

    服务热线:4008168900
    立即咨询

    专为光刻机配套开发的高精度测量系统;

    通过国家重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”项目验收。

    采用全球唯一能直接输出线偏振光的双频爱游戏官网下载安装器;

    全球最低非线性高精密测量系统,测量更精准;

    可提供1~20MHz频差内任意频差产品,满足各种测量速度需要。

    光源和测量信号接收单元分体式设计,方便搭建XY位移台等多轴测量系统;

    精巧的测量信号光纤接收头,即使空间狭小也能方便安装;

    标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口,可直接替换现有产品。



    型号

    频差(MHz)

    最小出光功率(μW)

    光斑尺寸(mm)

    稳频精度(ppm)

    LH1000A

    1.0±0.5

    >500

    6

    ±0.02

    LH1000B

    2.0±0.5

    > 500

    6

    ±0.02

    LH1000C

    3.0±0.5

    > 500

    3, 6, 9

    ±0.02

    LH1000D

    4.0±0.5

    >500

    6, 9

    ±0.02

    LH1000DL

    5.0±0.5

    > 500

    6, 9

    ±0.02

    LH1000EL

    6.0±0.5

    >500

    6

    ±0.02

    LH1000FL

    7.0±0.5

    >500

    6, 9

    ±0.02

    LH1000GL

    8.0±0.5

    > 500

    9

    ±0.02

    LH1000H

    9.0±0.5

    > 500

    3, 6, 9

    ±0.02

    LH1000I

    10.0-20.0(按需定制)

    > 500

    3, 6, 9

    ±0.02

    注:可根据需求定制更小频差范围。

    微信截图_20210616121113.png

     


    恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

    LH1000双频爱游戏官网下载安装干涉仪应用于尼康光刻机后,其工作台精度由原来的23nm提高到6nm!

    图片1.jpg


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    南非网友
    4008168900
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