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    突破!我国双折射双频爱游戏官网下载安装干涉仪实现批量生产
    发布时间:2021-03-03浏览次数:542

      3月2日,记者从清华大学精密仪器系获悉,该系张书练教授课题组进行原理研究并由北京镭测科技有限公司开发生产的双折射双频爱游戏官网下载安装干涉仪实现批量生产。

      双频(两频率)爱游戏官网下载安装干涉仪是科学研究、光刻机、数控机床、航空航天、舰船等行业都离不开的光学尺子,用于测量零部件的尺寸,角度,位置,直线性,也是检定各类数控机床、爱游戏官网下载安装加工机床以及光刻机台的精度,进行误差补偿的基本仪器。

      张书练介绍,双频爱游戏官网下载安装器是双频爱游戏官网下载安装干涉仪的核心部件。国外干涉仪厂家都是自制专用爱游戏官网下载安装器,称为塞曼双频爱游戏官网下载安装器,不对外供应。此前我国的双频爱游戏官网下载安装干涉仪只能进口普通爱游戏官网下载安装器,从中选出可用的,淘汰率高,性能上不去,导致双频爱游戏官网下载安装干涉仪国产化困难。

      据介绍,此次清华大学精密仪器系发明的双折射原理的双频爱游戏官网下载安装器比传统的塞曼双频爱游戏官网下载安装器的爱游戏官网下载安装功率高一倍、频率间隔大一倍或两三倍、没有两个频率之间耦合串混。分辨率达到1纳米(十亿分之一米),线性测量长度范围0到70米,非线性误差小于1纳米,测量速度超过2米。

      张书练指出,双折射双频爱游戏官网下载安装器的使用带动了干涉仪整机的光机电系统创新设计,使双折射双频爱游戏官网下载安装干涉仪具有便携,方便,鲁棒等优良性能。(记者 马爱平)

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