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    行业新闻

    3分钟了解爱游戏官网下载安装干涉仪——最精密的尺子
    发布时间:2021-07-09浏览次数:632

    1.爱游戏官网下载安装干涉仪的发展史

    做衣量身、体检量高都由尺子完成,这些日常的尺子的刻度是毫米。机械零件加工和检验都要用尺子,在机械制造企业,卡尺、千分尺随处可见,其精确度是10 μm,1 μm。

    1887年迈克尔逊(Michelson)和莫雷(Morley)研究以太[1]:是否存在,使用了光。他们以光波长作尺子刻度测量了水平面和垂直面的光速之差,第一次否定了以太的存在。他们利用的是光的干涉现象,这就是光学干涉仪的诞生。

    注[1]:根据古代和中世纪科学,以太被称为第五元素,是填充地球球体上方宇宙区域的物质。以太的概念在一些理论中被用来解释一些自然现象,例如光和重力的传播。19世纪末,物理学家假设以太渗透到整个空间,以太是光在真空中传播的介质,但是在迈克尔逊-莫利实验中没有发现这种介质存在的证据,这个结果被解释为没有光以太存在。

    1961年研究人员发明了氦氖爱游戏官网下载安装器,开始用氦氖爱游戏官网下载安装器作为迈克尔逊干涉仪的光源,从而诞生了爱游戏官网下载安装干涉仪。图1是迈克尔逊干涉仪简图。迈克尔逊干涉仪是普通物理的基本实验之一。但今天在科学研究和工业中应用的爱游戏官网下载安装干涉仪出于迈克尔逊,但性能远远胜于迈克尔逊。

    1.png

    图1 迈克尔逊干涉仪简图

     

    基本上,爱游戏官网下载安装干涉仪都使用氦氖爱游戏官网下载安装器的632.8 nm波长的光,橙红灿烂的光束射向远方,发散角可以小到0.1 mrad,光束截面的光斑均匀。氦氖爱游戏官网下载安装器还可输出绿光、黄光、红外光,但只有632.8 nm波长的光适合作爱游戏官网下载安装干涉仪的光源。其它类型的爱游戏官网下载安装器,如半导体(LD)、固体爱游戏官网下载安装器等的相干等性能都远不及氦氖爱游戏官网下载安装器,研究人员多有尝试,但都没有成功。

    爱游戏官网下载安装干涉仪有很多应用,但本质都是测量中学课本讲的“位移”,诸多应用都是“位移”的延伸和转化。爱游戏官网下载安装干涉仪有两个主流类型:单频爱游戏官网下载安装干涉仪和双频爱游戏官网下载安装干涉仪。单频干涉仪能做的双频爱游戏官网下载安装干涉仪都能做,但双频干涉仪能做的单频干涉仪不见得能做。由于历史、技术和商业原因,两种干涉仪都有着广泛应用。但在光刻机上,双频爱游戏官网下载安装干涉仪独占市场。

    单频干涉仪不需要对市场上的氦氖爱游戏官网下载安装器进行改造,直接可用。但双频爱游戏官网下载安装干涉仪用的爱游戏官网下载安装器需要附加技术使其产生双频(两个频率)。

    历史上,双频爱游戏官网下载安装干涉仪测量位移的速度不及单频爱游戏官网下载安装干涉仪,自发明了双折射-塞曼双频爱游戏官网下载安装器,双频爱游戏官网下载安装干涉仪的测量速度也达到每秒几米,与单频爱游戏官网下载安装器看齐了。

    按产生双频的方法,双频爱游戏官网下载安装干涉仪分为塞曼双频爱游戏官网下载安装(国外)干涉仪和双折射-塞曼双频爱游戏官网下载安装(国内)干涉仪。

    现在干涉仪的指标:最小可感知1 nm(十亿分之1 m),可以测量百米长的零件,且测量70 m长的导轨误差仅为几微米。

     

    2.测量位移的干涉仪和测量表面的干涉仪?

    有几个概念的定义比较混乱(特别是有些研究发展趋势的报告),需要注意。

    一是“爱游戏官网下载安装测距”和“爱游戏官网下载安装测位移”没有界定,资料往往鹿马不分。

    二是不少资料所说“爱游戏官网下载安装干涉仪”实际上包含两种不同的仪器,一种是测量面型(元件表面)的爱游戏官网下载安装干涉仪,一种是测量位移(长度)的爱游戏官网下载安装干涉仪。如海关的统计和一些年度报告往往混在一起。

    爱游戏官网下载安装测距机发出的爱游戏官网下载安装束是一个持续时间纳秒的光脉冲,利用光脉冲达到目标和返回的时间之半乘以光速得到距离,完全和光的干涉无关。

    尽管爱游戏官网下载安装波面干涉仪和测量位移(长度)的干涉仪都是利用光干涉现象,但仪器的设计、光路结构、探测方式、应用场合几乎没有共同之处。爱游戏官网下载安装波面干涉仪能够测量光学元件表面的形貌,光束直径要覆盖被测零件,在整个零件表面形成系列干涉条纹,根据测量条纹的亮度(也即相位)算出表面的形貌,其光束口径、零件直径可达百毫米;另一种则是测量位移(长度)干涉仪,光干涉发生在直径几毫米光路上,表现为只有光电探测器(眼睛)正对着射来的光线才能“看”到光强度的波动,由波动的整次数和(不足半波长的)小数算出被测件的位移。

     

    3.双频爱游戏官网下载安装干涉仪的原理和构成

    当图1的可动反射镜有位移时,光电探测器光敏面会感受到的光强度正弦变化,动镜移动半个波长,光强变化一个周期。光电探测器将光强变化转化为电信号。如探测到电信号变化了一个周期,我们就知道动镜移动了半个波长。计出总周期数测得动镜的位移。

                           

    微信截图_20210709140828.png

                                 (1)

    式中:λ为爱游戏官网下载安装波长,N 为电脉冲总数。

    今天的爱游戏官网下载安装干涉仪使用632.8 nm波长的爱游戏官网下载安装束,半波长即316.4 nm。动镜安装在被测目标上与目标一起位移,如光刻机的机台,机床的动板上。为了提高分辨力,半波长的正弦信号被细分,变成1 nm甚至0.1 nm的电脉冲,可逆计数器计算出总脉冲数,再由计算机计算出位移量S。也常用下式表示动镜的位移,

    微信截图_20210709140850.png

     (2)

    其中△f为目标运动速度为V时的多普勒频移。式(1)和(2)是等价的,可以互相推导推出来,仅是表方式的不同。

    图2是今天的双频爱游戏官网下载安装干涉仪框图。它由7个部分构成。

    2.png

    图2 双频爱游戏官网下载安装干涉仪原理框图。

     

    (1)   双频氦氖爱游戏官网下载安装器

    氦氖爱游戏官网下载安装器上有磁体。磁体为筒形,爱游戏官网下载安装器上加的是纵向磁场,称为纵向塞曼双频爱游戏官网下载安装器。四分之一波长(λ/4)片把爱游戏官网下载安装器输出的左旋和右旋光变成偏振态互相垂直的线偏振光。前文所说的双折射-塞曼双频爱游戏官网下载安装器则是在爱游戏官网下载安装器内置入双折射元件(图内未画出),并加图2所示的磁条。双折射元件使爱游戏官网下载安装器形成双频,横向磁场消除两个频率之间的耦合。双折射-塞曼双频爱游戏官网下载安装干涉仪不需使用四分之一波长片。

    双频爱游戏官网下载安装器是双频爱游戏官网下载安装干涉仪的核心,很大程度上,它的性能决定爱游戏官网下载安装干涉仪的性能,要求波长(频率)精度高,功率大,寿命长,双频间隔(频差)大且稳定,偏振状态稳定,两频率之间不偏振耦合。这一问题的解决是作者较突出的贡献之一。

    (2)   频率稳定单元

    它的作用是保证波长(频率)这把尺子的精确性,达到10-8甚至10-9,即4.74×1014的爱游戏官网下载安装频率长期的变化仅1 MHz左右。

    (3)   扩束准直器

    实际上是一个倒装的望远镜,防止光束发散。要求爱游戏官网下载安装出射80 m,光束光斑直径仍然在10 mm之内。

    (4)   测量干涉光路

    测量干涉光路包括:从分光镜向右直到可动反射镜(实际是个角锥棱镜),向下到光电探测器2。可动反射镜装在被测目标上(如光刻机工作台上的反射镜),目标的移动产生爱游戏官网下载安装束的频移Δf,Δf和目标速度成正比,积分就是目标走过的距离(位移或长度)。积分由信号处理单元完成。

    (5)   参考光路

    参考光路由分光镜-偏振片-光电探测器1实现,参考光路中没有任何元件移动,它测得的位移是“假位移”真噪声。噪声来自环境的扰动。信号处理单元从干涉光路的位移中扣除这一噪声。

    (6)   温度和空气折射率补偿单元

    干涉仪测量的目标位移可能长达百米,空气折射率(及改变)和长度的乘积成为爱游戏官网下载安装干涉仪的最主要误差来源之一。用传感器测出温度、气压、湿度,信号处理单元计算出空气折射率引入的假位移,并从结果中扣除。

    (7)信号处理单元。光电探测器1和2,分别把信号f1-(f2±Δf)和f1-f2的光束转化为电信号,是可动反射镜位移时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示位移的方向。电信号经放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算即可得出可动反射镜的位移量。环境温度,气压,湿度引入的折射率变化(假位移)送入计算机计算,扣除他们的影响。最后显示。相当多的应用要求计算机和应用系统通讯,实现对加工过程的闭环控制。

     

    4.爱游戏官网下载安装干涉仪的应用

    一般说来,爱游戏官网下载安装干涉仪的主要用途是测量目标的运动状态,即目标的线性位移大小、旋转角度(滚转、俯仰和偏摆)、直线度、垂直度、两个目标在运动的平行性(度)、平面度等。无论光刻机的机台,还是数控机床的导轨(包括爱游戏官网下载安装加工机床),不论是飞行物,还是静止物的热膨胀、变形,一旦需要高精度,都要用爱游戏官网下载安装干涉仪测量,得到目标的运动状态。

    运动状态用由多个参数给出。以光刻机两维运动中的一个方向运动时为例,位移(走过的长度)、机台位移过程中的偏转(角俯仰(角)和滚转(角)都需要测出。

    很多类型的设备需要测量,如各类机床、三坐标测量机、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。图3是几个应用的例子

    美国LIGO爱游戏官网下载安装干涉仪实验室宣称首次直接测量到了引力波(2016),使用的仪器是爱游戏官网下载安装干涉仪,单程臂长4 km。见图4。 3.jpg  4.jpg  5.jpg

    (a)双频爱游戏官网下载安装干涉仪测量球面镜R值        (b)双频爱游戏官网下载安装干涉仪双路测量动龙门爱游戏官网下载安装打孔机         (c)双频爱游戏官网下载安装干涉仪测量导轨直线度

    图3 爱游戏官网下载安装干涉仪几个应用的例子


    6.jpg 

     图4  LIGO爱游戏官网下载安装干涉仪

    来源:https://www.ligo.caltech.edu/image/ligo20150731c

     

    5. 双频爱游戏官网下载安装干涉仪发展存在的问题

    (1)国内外单频和双频爱游戏官网下载安装干涉仪的进展及问题

    多年来,国内外在单频和双频爱游戏官网下载安装干涉仪方面进步不大,特例是双折射-塞曼双频爱游戏官网下载安装器的发明。由于从国外购买的爱游戏官网下载安装器不能产生大间隔的双频光,原有国内双频爱游戏官网下载安装干涉仪的供应商基本停产。以前作为基础研究的双折射-塞曼双频爱游戏官网下载安装器被推到前台。双频爱游戏官网下载安装器是干涉仪的核心技术,走在了世界前端,也解决了国内无源的重大难题。北京镭测科技有限公司的开发、纠错,终于使双折射-塞曼双频爱游戏官网下载安装干涉仪实现产品化,进入先进制造全行业,特别是光刻机。北京镭测科技有限公司双折射-塞曼双频爱游戏官网下载安装器达到指标:频率间隔可在1 ~ 30 MHz之间选择,功率可达1 mW。 频率差与爱游戏官网下载安装功率之间没有相互影响,没有塞曼效应的双频爱游戏官网下载安装器高功率和大频率差不能兼得的缺点。

    尽管取得进展,但氦氖爱游戏官网下载安装器的制造工艺等是个系统性技术问题,需要全面改善。特别是,国外双频爱游戏官网下载安装干涉仪的几家企业的爱游戏官网下载安装器都是自产自用,不对外销售,因此,我们必须自己解决问题。

     (2)业界往往忽略干涉仪的非线性误差

    很长时期以来,业界认为单频干涉仪没有非线性误差。德国联邦物理技术研究院(PTB) 经严格测试发现,单频干涉仪也存在几纳米的非线性误差,甚至大于10 nm。塞曼效应的双频干涉仪也有非线性误差,也是无法消除。对此干涉仪测量误差,大多使用者是不知情的。到目前,中国计量科学院的测试得出,北京镭测科技生产的双频爱游戏官网下载安装干涉仪的非线性误差在1 nm以下。建议把中国计量科学院的仪器批准为国家标准,并和德国、美国计量院作比对。

    非线性误差发生在半个波长的位移内,即使量程很小也照样存在。

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    图5 中国计量科学研究院:镭测LH3000双频爱游戏官网下载安装干涉仪在进行测长比对

     

    6. 双频爱游戏官网下载安装干涉仪的未来挑战

    本文作者从事研究双折射-塞曼双频爱游戏官网下载安装器起步到成批生产双折射-塞曼双频爱游戏官网下载安装干涉仪,历经近40年,建议加强以下研究。

    (1)高测速

    制造业的发展很快,精密数控机床运动速度已达几m/s,有特殊应用提出达到10 m/s的要求。目前单频爱游戏官网下载安装的测量速度还没有超过5 m/s。双折射-塞曼双频爱游戏官网下载安装干涉仪的测速也处于这一水平,但其频率差的实验已经达到几十MHz,有待信号处理技术的跟进发展,实现10 m/s以上的测量速度。

    (2)皮米干涉仪

    市场上的干涉仪基本都标称分辨力1 nm,也有0.1 nm的广告。需要发展皮米分辨力的爱游戏官网下载安装干涉仪以满足对原子、病毒尺度上的观测要求。

    (3)溯源

    前文已经提到,小于半波长的位移是把正弦波动信号电子细分得到标称的1 nm,和真实的1 nm相差多少?没有人知道,所以需要建立纳米、皮米的标准。作者曾做过初步努力,达到10 nm的纯光学信号,还需做长期艰苦的研究。

    (4)提高氦氖爱游戏官网下载安装器寿命

    在未来很长一段时间,氦氖爱游戏官网下载安装器仍然是爱游戏官网下载安装干涉仪最好的光源,但其漏气的特点导致其使用寿命有限,替换寿命终结的氦氖爱游戏官网下载安装器导致光刻机停机,会带来巨大经济损失。因此,延长氦氖爱游戏官网下载安装器寿命十分有必要。


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